派瑞林（Parylene）是一種聚對二甲苯的聚合物。用獨特的真空氣相沉積工藝制備，由活性小分子在基材表面“生長”出完全敷形的聚合物薄膜涂層。派瑞林膜層具有均勻性、無針孔、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優異的電絕緣性和防護性，具有防潮、防霉、防鹽霧涂層材料。百騰小編分享：派瑞林鍍膜設備及應用知多少？

一、派瑞林CVD化學氣相沉積工藝

派瑞林（Parylene）采用的是派瑞林CVD化學氣相沉積工藝。即派瑞林（Parylene）原料在真空下裂解聚合成氣態分子，并沉積于產品表面，形成一層致密無針孔的納米膜層，更好的保護產品。該技術廣泛應用于航空航天、半導體、電子醫療等產品鍍膜防護領域。

派瑞林化學氣相沉積工藝是將原料放入真空納米涂層設備的蒸發室，通過氣相反應沉積出固態物質，因此把派瑞林CVD技術用于無機合成和材料制備時具有以下特點：

1）沉積反應如在氣固界面上發生則沉積物將按照原有固態基底（又稱襯底）的形狀包覆一層薄膜。

2）涂層的化學成分可以隨氣相組成的改變而改變從而獲得梯度沉積物或得到混合鍍層。

3）采用某種基底材料，沉積物達到一定厚度以后又容易與基底分離，這樣就可以得到各種特定形狀的游離沉積物器具。

4）在CVD技術中也可以沉積生成晶體或細粉狀物質，或者使沉積反應發生在氣相中而不是在基底表面上，這樣得到的無機合成物質可以是很細的粉末，甚至是納米尺度的微粒稱為納米超細粉末。

5）CVD工藝是在較低壓力和溫度下進行的，通過派瑞林鍍膜技術可增強材料斷裂強度和抗震性能是在較低壓力和溫度下進行的。

二、派瑞林鍍膜應用

1、派瑞林（Parylene）磁性材料應用

隨著信息產業的不斷發展，磁性元件越來越趨向于小型化，3-5㎜的軟磁芯，2-3㎜的稀土永磁材料，甚至尺寸更小的磁材都不斷被應用，對磁材的防護提出了新的要求。小型軟磁芯作饒線器件時，經聚對二甲苯涂敷后能耐1500-2000V甚至更高的電壓，由于聚對二甲苯摩擦系數低，磁材表面更滑溜，不傷線，更便于操作，稀土釹鐵硼永磁材料是一種高性能強磁材料，但這種材料在空氣中很不穩定，尺寸較大的通常用電鍍或環氧電泳漆作防護涂層，尺寸較小的磁材，特別是環型和筒形的磁材，已不能用上述傳統方法實現可靠防護，滿足使用要求。派瑞林（Parylene）獨特的制備工藝和優異性能相結合，使它能對小型超小型磁材進行無薄弱點全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型超小型磁材，幾乎都采用派瑞林（Parylene）作絕緣和防護涂層。

2、派瑞林（Parylene）印制電路組件和元器件應用

隨著表面貼裝技術發展和元器件的日益小型化，印制電路組件也日益向小型化和高密度方向發展，這給印制電路組件的三防措施提出了新的要求。派瑞林（Parylene）涂敷是由活性的對二甲苯雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個細小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。它沒有助劑溶劑等小分子，不會對基材形成傷害，厚度均勻的防護層和優異的性能相結合，使派瑞林（Parylene）涂層僅需0.02-0.05㎜就能對印制電路組件的表面提供非?？煽康姆雷o，甚至經過鹽霧試驗，表面絕緣電阻也不會有很大改變，而且較薄的涂層對元器件工作時所產生的熱量消散也非常有利。另外由于分子結構對稱性較好，使它在較高的頻率下仍有較小的介質損耗和介電常數，它的這種高頻低損耗特性使它為高頻微波電路的可靠防護創造了條件。

3、派瑞林（Parylene）微電子集成電路應用

派瑞林（Parylene）的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林（Parylene）涂層介電常數也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。

4、派瑞林（Parylene）微電子機械系統（MEMS）應用

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚時就完全沒有針孔，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

5、派瑞林（Parylene）傳感器應用

派瑞林（Parylene）在傳感器領域中的應用，除了作絕緣介質外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和有機溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環境有極好的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。

6、派瑞林（Parylene）生物醫用電子應用

派瑞林（Parylene）不僅電性能，防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物醫用材料VI類標準，被列為是一種可以在體內長期植入使用的生物醫用材料。

7、派瑞林（Parylene）光纖光纜接頭密封件應用

光纖光纜接頭在使用中可能遇到各種不同的環境，通常使用含有硅橡膠密封圈的接頭使光纜與環境相隔離，經派瑞林（Parylene）涂敷后的硅橡膠密封圈，能更好的適應各種惡劣環境，防止硅橡膠老化，延長密封圈的壽命。

綜上所述：經派瑞林涂層后的產品具有非常好的絕緣強度和耐高低溫、抗酸堿腐蝕、潤滑、防塵、防潮、防銹、防水、防霉菌、防反吸、防黏附、抗老化、生物相容性等作用，

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